Турбомолекулярный вакуумный насос

Турбомолекулярный вакуумный насос - это механический насос, который использует принцип молекулярной диффузии для откачки газов. Он состоит из ротора, который вращается внутри статора. Ротор имеет лопасти, которые вращаются с большой скоростью. Когда газ попадает в насос, он сталкивается с лопастями и отражается от них. Поскольку лопасти вращаются, отраженный газ переносится в область более высокого давления. Турбомолекулярные насосы могут достигать очень высокого вакуума, до 10^-9 Па. Они используются в различных областях, таких как:

• Научно-исследовательские лаборатории
• Производство полупроводников
• Медицинское оборудование
• Аэрокосмическая промышленность Преимущества турбомолекулярных насосов:
• Высокий вакуум
• Низкая вибрация и шум
• Отсутствие необходимости в рабочем газе
• Длительный срок службы Недостатки турбомолекулярных насосов:
• Высокая стоимость
• Высокая чувствительность к загрязнению
• Необходимость в предварительном насосе для достижения высокого вакуума